Taofi
Maua faʻamatalaga ma faʻavave le faagasologa o le atinaʻe.
Advanced Energy e tu'uina atu le paoa ma le fa'atonutonuina o fofo mo le fa'aogaina o ata manifinifi mata'utia ma fa'ata'ita'i masini.Ina ia foia lu'itau o le gaosiga o wafer, oa matou fofo o le liua o le malosiaga sa'o e mafai ai ona e fa'amalieina le sa'o sa'o, sa'o, saoasaoa, ma le toe fa'atinoina o le faagasologa.
Matou te ofoina atu le tele o laina RF, faiga eletise DC, tulaga faʻapitoa o le gaosiga o le eletise, tekinolosi faʻafetaui, ma vaifofo mataʻituina o le vevela e mafai ai e oe ona sili atu le pulea o le plasma faagasologa.Matou te tu'ufa'atasia fo'i le Fast DAQ ™ ma a matou fa'amaumauga e maua ma fa'aoga avanoa e tu'uina atu ai fa'amatalaga fa'agasolo ma fa'avavevave ai le atina'e.
A'oa'o atili e uiga i a matou faiga fa'agasologa o gaosiga semiconductor e su'e ai le fofo e fetaui ma ou mana'oga.
Lau Luitau
Mai ata na fa'aaogaina e fa'ata'ita'i ai fua ta'amilosaga tu'ufa'atasi i ata fa'ata'ita'i ma insulative (faiga fa'aeletise), i ata u'amea (feso'ota'iga), e mana'omia e au fa'agasologa o le tu'uina atu le fa'atonuga o le atomic - e le gata mo vaega ta'itasi ae i luga o le wafer atoa.
I tua atu o le fausaga lava ia, o au ata na teuina e tatau ona maualuga le lelei.E mana'omia le iai o le fa'atulagaga o saito mana'omia, tutusa, ma le mafiafia fa'amalieina, ma e leai se aoga - ma e fa'aopoopoina i le tu'uina atu o fa'amalosi fa'ainisinia mana'omia (compressive ma tensile) ma mea tau eletise.
Na'o le lavelave o lo'o fa'aauau pea ona fa'atupula'ia.Ina ia foia tapula'a lithography (sub-1X nm nodes), e mana'omia e le tagata lava ia faiga fa'atusa fa'alua ma fa'afafa'i lau fa'agasologa o le fa'aputuina e gaosia ma toe gaosia le mamanu i luga o fafie uma.
La Tatou Fofo
A e faʻaogaina le faʻaogaina o mea e sili ona taua ma faʻataʻitaʻiga masini, e te manaʻomia se taʻitaʻi maketi faatuatuaina.
O le tu'uina atu o le mana RF a Advanced Energy ma tekinolosi fa'afetaui maualuga e mafai ai e oe ona fa'avasega ma fa'amalieina le sa'o sa'o, sa'o, saoasaoa, ma le fa'agasologa o faiga e mana'omia mo fa'agasologa uma o le tu'uina o le PECVD ma le PEALD.
Fa'aaogā la matou fa'atekonolosi fa'aola DC e fa'alelei ai lau tali fa'alava, sa'o lelei o le paoa, saoasaoa, ma le toe fa'agaoioiga e mana'omia le PVD (sputtering) ma le fa'aogaina o le ECD.
Faamanuiaga
● Faʻaleleia le mautu o le plasma ma le toe faʻaleleia o gaioiga e faʻateleina ai fua
● Sa'o RF ma DC tu'uina atu fa'atasi ai ma le fa'atonu fa'atekinolosi atoa e fesoasoani e fa'amalieina le lelei o le faagasologa
● Tali vave i suiga o le plasma ma le puleaina o le arc
● Fa'atosina fa'a-tulaga fa'atasi ma fa'afetaui fa'agasolo fa'agasolo e fa'aleleia ai le filifilia o fua o le etch
● Lagolago i le lalolagi atoa o loʻo avanoa e faʻamautinoa ai le maualuga o le uptime ma le faʻatinoga o oloa